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化学结构硬度相关论文
等离子体增强磁控溅射制备碳化硅薄膜研究
本论文在微波电子回旋共振(MW-ECR)等离子体辅助下,利用Si、C双靶磁控溅射和Si靶、CH4磁控溅射两种方法分别制备了无氢和含氢SiC薄......
学位
等离子体增强磁控溅射
a-SiC薄膜
a-Si1-xCx:H薄膜
化学结构硬度
成膜机理
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