单晶硅薄膜相关论文
采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了室温(300K)下厚度为2~20nm的单晶硅薄膜的沿膜平面方向的热导率.薄膜面向热导率大于其法向......
同时实现高质量薄膜材料的高速、低温生长一直是工业界和学术界所追求的目标之一.高速生长的实现是降低生产成本的基础,而低温生长......
本文使用第一性原理,采用基于密度泛函理论的CASTEP程序包,系统地研究了Si、SiO_2及Si/SiO_2纳米镶嵌薄膜的几何结构、电子结构和......
本文分析了经典分子动力学(Molecular Dynamics)技术在模拟厚度在纳米量级的单晶硅薄膜平行于薄膜平面方向的热导率时出现的用难,......
纽约州康宁及法国贝南2009年8月4日电/美通社亚洲/一康宁公司(纽约证交所代码:GLw)与Soitec集团(Euronext Paris)2009年7月30曰宣布,就携手......
本文论述了SOI方法之一——ELO(外延横向覆盖生长)技术的特点和工艺方案。利用射频加热卧式常压外延设备进行了系统的工艺研究,重......
以飞秒激光放大器作为光源,利用瞬态反射实验技术研究了厚度为1000 nm的单晶硅薄膜瞬态反射率变化过程.实验系统采用激光脉宽为120......
康宁公司与Soitec集团(Euronext Paris)日前宣布,就携手开发适用于新一代平板移动显示器市场的高性能单晶硅薄膜玻璃基板(SiOG)技术事宜......
欧瑞康太阳能和富阳光电于近日联合宣布了40MW的单晶硅薄膜太阳能电池生产线提前一个月到达了满量产。这次安装包含了欧瑞康太阳能......
在绝缘衬底上生长单晶硅薄膜,即SOI技术,是近年发展起来研制三维集成电路的一项新技术,本文讨论了利用扫描电子束对淀积在SiO2上的多晶硅薄硅......
采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了平均温度为500 K、厚度为2~32 nm的单晶硅薄膜的法向热导率.模拟结果表明,薄膜热导率显著低......
采用非平衡分子动力学方法(NEMD)研究了室温(300 K)下厚度为2~32 nm的单晶硅薄膜的沿膜平面方向的热导率,并使用Debye-Einstein模型......
为了提高单晶硅薄膜太阳能电池短路电流密度和转换效率,采用在单晶硅薄膜太阳能电池正背面分别集成硅介质光栅和铝金属光栅的方法,......
期刊
利用载流子输运模型对飞秒激光辐照下单晶硅亚微米薄膜中的能量输运过程进行数值模拟。研究了不同辐照能量密度和不同激光波长对载......
随着生物纳米技术的不断发展,生物传感器件尺寸的不断小型化使其对材料的性能要求也不断提高。单晶硅作为经典的半导体材料被广泛......
硅直接链合(SDB)技术用于制备SOI片(BESOD)是键合技术的最重要应用之一,研究了制备BESOI片中的键合和减薄问题,获得了大面积的均匀单晶硅......
柔性太阳能电池属于膜/基体系,膜/基体系的屈曲可以实现在小的薄膜应变下得到较大的整体应变。利用这一特性,本文针对柔性太阳能电......