单晶金刚石悬臂梁相关硕士博士期刊学术论文

金刚石因其独特的性能在MEMS/NEMS领域得到了应用。与多晶/纳米晶金刚石相比,单晶金刚石(SCD)因其更为优秀的性能而尤其值得探索。......