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基于激光干涉系统的SPM二维标定系统研究
纳米技术是在纳米尺度下进行测试、计量和加工的新技术.单管式压电陶瓷扫描器(PZT Tube Scanner)是扫描探针显微镜的关键部件,它的......
学位
扫描探针显微镜
单管式扫描器
激光干涉仪
二维标定系统
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