激光干涉仪相关论文
定位精度是激光开槽机的一项重要技术指标。使用SJ6000激光干涉仪对KW-355型号的激光开槽机进行X、Y、Z轴的定位精度和重复定位精......
本文从垂准仪校准装置的应用原理出发,主要针对主标准器为二维光栅坐标靶的垂准仪校准装置,提出一种应用激光干涉仪对垂准仪校准装......
在振动计量领域，激光干涉条纹计数法是一种常用的低频振动传感器的校准方法，现有装置多为手动测量。在振动传感器校准工作中存在效率......
当利用激光干涉法对大型工件进行现场测量时，需铺设长行程直线导轨，导致测量系统结构复杂；为解决该问题，采用模块化接杆式结构的可伸缩......
水准测量是使用水准仪与水准标尺测量地面两点之间高度差的基本方法。水准仪作为水准测量和工程测量领域内广泛使用的测量仪器,水......
在等离子体实验物理研究中,等离子体电子密度是重要而又基本的参数之一。在密度诊断技术研究领域,激光干涉诊断技术是一种常规的诊......
同步辐射光束线已经从高能量分辨发展到超高能量分辨,从微米聚焦到纳米聚焦,光束线的稳定性成为先进性能光束线的关键需求。对于硬......
根据Zernike多项式的第四项系数q4和Seidel像差Focus项的对应关系，选用Zernike多项式第四项的系数q4的值作为激光干涉仪法定焦的判......
介绍了激光干涉技术用于诊断等离子体的基本原理、实验装置及图像处理方法等,通过Mach-Zehnder激光干涉仪诊断了空气开关等离子体......
在轨卫星的微角振动会对卫星平台与遥感系统等有效载荷高精度姿态指向造成严重影响，需要进行有效的测量和控制。磁流体动力学(MHD)......
基于磁流体动力学(magnetohydrodynamics,MHD)微角振动传感器研制过程中,需要对其频响特性及输出线性度等指标进行测试,这便需要宽......
为了实现离轴二次非球面反射镜几何参数的高精度测量,提出了一种激光干涉仪和激光跟踪仪相结合的测量方法。在离轴二次非球面反射......
介绍了用激光干涉法测量等离子体电子密度的原理。研究了ＨＣＮ激光器及其输出模式和传输特性，并给出七道远红外ＨＣＮ激光干涉仪的改进及其最新......
从物体全息图的角度出发，阐述了激光干涉仪成像的基本思想；分析了运动物体在球面波与平面波形成的干涉场中的成像理论。激光干涉仪成......
为了对激光干涉仪、高精度位移传感器等测量系统进行纳米级精度的非线性误差校准，需进一步提高中国计量科学研究院与清华大学合作研......
光干涉测量技术是一种非接触式测量,具有很高的测量灵敏度和精度。干涉测量应用范围十分广泛,可用于位移、长度、角度、面形等方面......
本文提出一种通过激光干涉仪和球杆仪测量数控加工中心的21项几何误差的新方法。该方法通过工作空间九线测量,不同于已有的九线测......
工件台是TFT阵列基板长寸测量设备中最为核心的技术单元之一,其定位精度将直接决定最终长寸测量设备的测量精度.在运动过程中由于......
纳米定位平台在纳米测量领域具有举足轻重的地位。近年来,随着纳米技术的不断发展,对纳米定位平台的定位精度和体积提出了新的要求......
美商务部国家标准局的研究人员正在研制一种自动激光干涉仪跟踪系统,他们确信这种测量系统将能极大地提高机器人性能测量的精度。......
叙述了测量微观不平度的90°相移激光干涉仪的原理和构成。对这种新型干涉仪的性能及有关问题作了讨论。测量结果的计算和样品扫描......
在激光测角干涉仪中，由于角锥棱镜在安置方位的不同，将导致该仪器角度测量范围的变化。本文分析了角锥棱镜方向和位置对角度测量范围......
提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号， 通过测量两信号的相位差， 直......
在未来 1 0年里 ,三枚卫星将在远离地球的精确三角形上互相发射激光。这听起来像是杀气腾腾的主动战略防御系统的预演。事实上 ,这......
研究了用于纳米测量的激光干涉仪中光学波片对非线性误差的影响,基于琼斯矩阵理论建立了多波片的误差分析模型,分析了λ/2和λ/4波......
研究了一种长基线激光干涉仪的在线稳定性监测技术,可用于纳米量级的位移和振动测量。构建了一个臂长22m的激光干涉仪用于位移和振......
外差激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免......
为了满足天文望远镜自适应光学系统的需要,研制了一个961单元的变形镜及其控制系统。利用Zygo激光干涉仪对变形镜的性能进行测试,......
研制了一种实用性强的零差激光干涉仪,采用立方角锥棱镜代替平面反射镜,克服了传统激光干涉仪光路调节困难的问题,并将其应用到大......
通过结合自已的实际工作，分别从伺服进给机构，位置检测技术，数控及伺服控制等几个方面对超精密机床的定位系统进行了说明......
0626726一种装载机自动称重方法〔刊,中〕/曹鹏举//空军雷达学院学报.—2006,20(3).—216-218(D)针对现阶段装载机自动称重存在的......
大家知道,以下两点是全息照相的主要优点:1)光学系统的象差补偿,2)从一次感光全息照片上获得一系列阴影和干涉条纹的可能性。全息......
传统激光干涉仪故障图像识别方法将提取的所有故障图像特征作为输入进行故障图像识别,计算量大,且影响识别结果的准确性。为此,提......
在使用激光干涉仪对机床误差进行检测时存在一个不可避免的原理性问题:激光干涉仪的测量坐标系与机床参考坐标系并不一致,存在偏差......
传统定位方法在定位精度上已难以满足人们的需求,设计了基于激光技术的无线传感系统容错目标定位方法。首先利用激光技术(激光干涉......
该文深入研究了从RENISHAW球杆仪测量数据中识别误差项进行几何误差软件补偿的方法.该文主要包含三方面的内容:误差补偿模型的建立......
随着精密加工、微电子等行业的快速发展，对高精度位移测量技术的需求越来越大，性能要求也越来越高。本文依托国家自然科学基金(NO.51......
随着数控机床朝着高精化方向的发展,对机床精度的要求越来越高。通过改进机床的设计、制造和装配技术减小机床误差的方法,设计成本......
PCB钻孔机的发展方向是高速、高精、微小孔加工能力实现。PCB钻孔机应改善机械动态特性来改善钻孔机的性能，实现批量微孔的加工能力......
机床工作的性能直接影响着零件的加工精度,影响机床加工精度的原因有很多。进给传动系统是数控机床的主要组成部分之一,它承担了数......
