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纳米Si薄膜场发射压力传感器研究
设计研制了一种基于量子隧道效应机制的锥膜一体新结构场发射压力传感器原型器件.测试表明当外加电场为5.6×l05V/m时,器件有......
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纳米硅薄膜
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