原位沉积SiN_x插入层相关论文
随着氮化镓（Ga N）基发光二极管（LED）应用越发广泛,对器件性能的要求也越来越高,需要我们制备出高质量的Ga N外延薄膜以提升LED器件的光......
GaN基半导体材料由于具有较高的禁带宽度,优良的物理与化学性质,已广泛应用于发光二极管,场效应晶体管、大功率激光器和太阳能电池......
