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叉指夹心结构相关论文

MOS工艺下叉指夹心集成电容的结构及其模拟分析

针对较大电容难以集成的实际，提出叉指夹心集成电容结构，采用横向电通量增加电容策略，在顶层上布铝导线呈平铺叉指夹心结构，涂盖Si3N4......

期刊

电容集成 MOS工艺叉指夹心结构介电常数 capacitor integrated CMOS fabrication comb electrodes str

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