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针对较大电容难以集成的实际，提出叉指夹心集成电容结构，采用横向电通量增加电容策略，在顶层上布铝导线呈平铺叉指夹心结构，涂盖Si3N4为介质，通过选择考虑边缘效应的模型进行仿真模拟，观测这种结构下两种连接方式电容的大小，得到了一定叉指电极长度的电容值可达到约15.3 pF.
MOS工艺下叉指夹心集成电容的结构及其模拟分析
【摘 要】
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针对较大电容难以集成的实际，提出叉指夹心集成电容结构，采用横向电通量增加电容策略，在顶层上布铝导线呈平铺叉指夹心结构，涂盖Si3N4为介质，通过选择考虑边缘效应的模型进行仿真
【机 构】
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延安大学物理与电子信息学院
【出 处】
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电子设计工程
【发表日期】
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2014年12期
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