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研究了应用双边C-V法测量超浅结(如p+-n结)的掺杂分布。推导了在已知p+-n结的电容-电压(C-VR)关系、n区掺杂、以及热平衡下n区耗尽......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
研究了应用双边C-V法测量超浅结(如p^+-n结)的掺杂分布。推导了在已知p^+-n结的电容-电压(C-VR)关系、n区掺杂、以及热平衡下n区耗尽层宽......
为了改进集成电路性能和速度,需要不断缩小器件尺寸,高掺杂且突变的超浅源/漏结的是高性能MOS器件所必需的。但传统的掺杂浓度测量......