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基于亚波长光栅结构微环谐振器的折射率传感研究
随着科学技术的发展,硅基集成光子学的发展如火如荼,盖因硅基光子器件与微电子加工工艺相兼容,体积较小,易于集成。尤其在光学传感......
学位
硅基
微环谐振器
亚波长光栅
折射率传感
包络谱
可探测范围
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