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各项异性湿法腐蚀相关论文

用于承载铷原子钟滤光泡的高品质微腔体制备

在芯片级铷原子钟中，需要微腔体来承载Rb-87滤光泡，为此，提出了一种用于制作高品质微腔体的新技术。为了获得光滑的腔体侧面和避免腐......

期刊

微腔体铷原子钟各项异性湿法腐蚀超声腐蚀激光共聚焦扫描显微镜凸角补偿 micro-cavity rubidium atomic clock anis

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