四极质谱计(QMS) 相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

四极质谱计(QMS)相关论文

极紫外光刻机真空材料放气分率的单质谱测试方法研究

水蒸气（H2O）和碳氢化合物（CxHy）的放气分率是评价极紫外光刻机（EUVL）真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相......

期刊

极紫外光刻机(EUVL) 真空材料放气分率四极质谱计(QMS) extreme ultraviolet lithography （EUVL） vacuum

看过本文同时还关注