真空材料相关论文
全铝合金真空容器在高能物理实验中已经有了引人注目的应用。在本刊1981年第二期上介绍了铝合金材料的真空性能。后来,日文的“真......
材料放气率是评价真空材料性能的重要参数。高精度真空材料放气测试系统集成了定容升压法、小孔流导法和双通道转换法三种材料放气......
1.前言 由于真空材料和真空技术的进步,已经能够比较容易地实现高真空和超高真空,但是伴随着高真空和超高真空的发展,以电离真空计......
综述了国内外真空材料、真空灌封工艺、真空灌封设备、真空灌封质量检测方面的研究进展,分析了真空灌封技术的现状及存在的主要问......
本文讨论了气体从金属材料中放出的主要物理过程,给出了一个量测材料出气的实验系统。它能量测各种性质的材料(不论有无磁性,是否......
1.3.3 清洗溶剂的选择 (上接 2 0 0 3年第 3期第 65页 )在溶剂清洗方法中 ,可根据被清洗材料及污染物的性质来选择合适、有效的清......
简要叙述了小孔流量法测量材料出气率实验的原理和实验装置,给出了不锈钢溅射镀TiN膜在不同情况下的热出气率,并对影响不锈钢溅射......
真空材料种类很多,但能用于真空系统的真空材料却不多。工作温度下,真空材料的静态出气性能对真空系统的设计起到至关重要的作用。......
水蒸气(H2O)和碳氢化合物(CxHy)的放气分率是评价极紫外光刻机(EUVL)真空材料的重要参数。研究材料放气分率的传统方法一般需要2个完全相......
为了提高材料放气率的测量效率和测量小于10-8Pam3/s的放气量,在原有基础上优化设计出一种基于对称结构的新型材料放气率测量装置......
为了满足真空材料出气率的要求,HIRFL-CSR工程超高真空系统制定了高温真空除气工艺,此工艺在明显降低了材料的体出气率的同时,对降......
围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题,综合地介绍了其技术的发展,重点突出了中国极高真空技术的发展.提出了"分子真空......
材料空间真空性能原位测试与评价主要包括:真空中材料质量损失测试;真空中材料可凝挥发物测试。这二项原位测试与评价工作是选择空......
3.6 .4 铼 (Re) (上接 2 0 0 2年第 2期第 6 2页 )铼具有极高的熔点 (在难熔金属中仅次于钨 ,位于第二 ) ,而且在高温时 ,蒸气压......
围绕着中国航天器真空技术在航天领域中的应用问题,综合地介绍了其技术的发展,重点突出了中国极高真空技术的发展。提出了“分子真空......
这是我们教育丛书中的一篇论文:在学校和学院中真空科学和技术的理论和实践。 本文第Ⅱ部分研究放气率的测量方法。详细说明所选用......
真空室内金属粒子污染是降低激光薄膜性能的一个重要因素。采用高真空残余气体分析仪,对薄膜沉积过程中的气氛进行分析。发现由黄......