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固态声反射结构相关论文

单晶薄膜体声波谐振器频率温度特性研究

采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜......

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体声波谐振器离子注入剥离法铌酸锂单晶薄膜固态声反射结构机电耦合系数频率温度系数 bulk acoustic resonatorion implanta

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