体声波谐振器相关论文
随着当今信息化进程的不断推进与移动通信技术的迅速发展,从智能家居到汽车的自动化驾驶,再到虚拟现实（VR）的应用与发展,通信技术从......
提出了一种基于声子晶体的新型体声波谐振器结构,利用声子晶体在其带隙范围内对弹性波具有高反射率、低透射率的特点,将声子晶体作......
固贴式薄膜体声波谐振器,简称SMR-FBAR（Solidly Mounted Film Bulk Acoustic Resonator）是体声波谐振器的一种,其采用高、低声阻抗层......
无线通信技术，特别是第三代通信系统和蓝牙技术的迅速发展，主流的通信频段日益拥挤，工作在射频波段的通信器件，尤其是滤波器件越来越受......
由于体声波(Bulk Acoustic Wave,BAW)传感器具有体积小、灵敏度高、工作频率高、功率损耗低和互补金属氧化物半导体(Complementary......
提出了基于AlN压电薄膜体声波谐振器(FBAR)的L波段MEMS滤波器,并进行了研究.采用Mason等效模型对器件的谐振特性进行了分析和模拟,......
随着无线通信的迅速发展，数据通信的中心频率提升到GHz以上，而射频滤波器，作为通信系统中信号处理的一个重要部件，越来越引起人们的关......
采用一维Mason模型，探讨体声波谐振器的频率特性，研究压电薄膜AlN、电极和声反射层膜厚对谐振频率的影响，优化谐振器的电学性能，为设计......
近半个世纪以来,生物传感器的研发一直都是人们关注的热点。其中压电生物传感器是近20年来发展起来的一种新型生物传感器,而压电生......
与传统的介质陶瓷滤波器和声表面波滤波器(SAW)相比,基于薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的滤波器具有体积小、工作频率高、插入损耗低......
近来，薄膜体声波谐振器（Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR）作为一种体积小、谐振频率高、性能优异的频率器件受到了广泛的关注。基于......
为了更精确的模拟薄膜体声波谐振器（FBAR）特性，提出了一种改进FBAR Mason模型的方法。首先采用有限元仿真法将FBAR压电层的机械损耗和......
为了预测体声波谐振器（BAWR）的热行为并评估其功率容量,提出一种BAWR热行为仿真方法。首先提取BAWR电磁模型中的导体表面损耗,并以此......
采用一维Mason模型,研究体声波谐振器的频率特性,探讨压电薄膜AlN和上电极膜厚对谐振频率的影响,研究谐振区域的面积和声能在衬底......
采用一维Mason模型，研究了体声波谐振器的频率特性，探讨了压电薄膜AIN和上电极膜厚对谐振频率的影响，压电参数d33及压电薄膜与电极的......
采用直流磁控溅射的方法制备了ZnO压电薄膜，并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器。X射线衍射结果显示ZnO压电......
在过去的几十年中,透膜传输技术作为一项重要的物理方法被广泛应用于细胞内外的物质传输中,特别是将基因序列分子传送至人体干细胞......
采用离子注入剥离法转移制备了43°Y-切铌酸锂(LiNbO3,LN)单晶压电薄膜材料,以SiO2/Mo作为声反射结构制备了固态声反射型薄膜......
高保真度量子门的物理实现是量子计算和量子通信的关键技术之一。根据电路量子声动力学和量子电动力学,提出了由两个具有较长相干......
用MEMS技术探索制作的悬臂梁式ZnO薄膜压电微力传感／执行系统，具有微型化、灵敏度高，能实现传感器／执行器的功能集成以及系统智能化等......
随着无线通信系统小型化、高频化、集成化进程的不断深入,系统射频前端无源器件难以缩小体积、实现集成的问题愈发凸显。微机电体......
基于氧化锌（ZnO）作压电层和蓝宝石作基底的高次谐波体声波谐振器（HBAR），采用不同电极材料和溅射方法进行优化。优化选定镀铬一金／氧化锌／......
采用射频磁控溅射法制备了ZnO压电薄膜，并在双面抛光的熔融石英基片上制备了高次谐波体声波谐振器进行性能验证。X射线衍射结果显示......
制造了一种基于薄膜压电体声波谐振器的柔性有机挥发性(VOCs)气体传感器。通过转移印刷的方法,柔性体声波谐振器的电极与压电层采......
随着4G/LTE技术的商用化，个人移动手持设备中支持的频段从几个增加到十几个。这些频段间的干扰日益严重，因此对高性能滤波器有着十分......
为了使用最小的电感改善体声波（BAW）梯型滤波器的带外抑制,提出了一种BAW梯型滤波器带外抑制调节电感的优化方法,该方法对电感值进行......
体声波（BAW）谐振器受到质量负载时,谐振器的Butterworth Van Dyke（BVD）电路模型中会增加1个质量负载等效电感,为得到该电感与负载质量......
以Ti／Mo为布喇格反射层，在Mo底电极上沉积了高c轴择优取向的AlN薄膜，并采用微机电系统（MEMS）工艺制备了固态封装型体声波谐振器。用原子......
近年来随着无线射频通讯器件向着小型化、高频化、高性能和可集成的方向发展,体声波(BAW)谐振器作为一种新型的射频MEMS器件,成为......
第五代移动通信（5G）技术对小体积、高频、宽带和高性能的空腔型体声波谐振滤波器（FBAR filter）提出了迫切需求。该技术融合了声学、射......
伴随通信技术的发展，人们通信技术要求的逐渐提高，为了获得更加舒适的生活和更加便利的通信方式，需要使得通信滤波器有较小的尺寸，更高......
