超高真空条件下，采用电子束蒸发工艺在Ｓｉ（１１１）衬上交替蒸镀２００°Ａ的Ｃｏ和Ｓｉ薄膜形成层膜结构，，在恒温炉品作稳态热退火，然后用ＸＲＤ，ＲＢＳ及ＡＥＳ等技术作分析，研究了......

研究了全固态薄膜锂电池制备方法、电化学性能和失效机制。采用磁控溅射和真空蒸镀法制备出了容量为0.2、1.7和3.6 mAh的全固态薄......