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圆柱形衬底相关论文
圆柱形衬底上高质量金刚石薄膜制备工艺研究
本文以丙酮和氢气为气源,采用优化钽丝排列分布的偏压增强热丝CVD装置对钨丝衬底进行了金刚石薄膜沉积研究.采用扫描电镜(SEM)、拉......
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金刚石薄膜
偏压增强热丝CVD法
圆柱形衬底
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