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声学微电子机械系统相关论文
圆形振动膜硅微电容传声器
硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压......
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声学微电子机械系统
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圆型振动膜
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