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硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器．该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成，其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV／Pa左右，在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦．
圆形振动膜硅微电容传声器
【摘 要】
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硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器．该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成，其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV／Pa左右，在100Hz～18kHz的范围内
【机 构】
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中国科学院声学研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2006年05B期
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