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声学隔离层相关论文

新型掺碳二氧化硅-薄膜体声波谐振器结构及其仿真验证

一定厚度的低声阻抗支撑层可以在薄膜体声波谐振器（FBAR）与衬底之间形成声学隔离层,防止声波泄漏到衬底当中。掺碳二氧化硅（CDO）是一种......

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声阻抗掺碳二氧化硅薄膜体声波谐振器声学隔离层 acoustic impedance carbon doped oxide oxide-film bulk

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