薄膜体声波谐振器相关论文
声波谐振器是一种利用材料的压电性能来产生高精度谐振频率的电子元器件,是各种电子设备及通信系统中的核心部件。近年来,一种新型......
随着信息化时代的发展,薄膜体声波谐振器（FBAR）具有体积小、高频和高Q值等优势,被广泛应用在射频和传感领域。紫外传感技术具有抗干......
新兴无线系统旨在结合更多功能并符合更多的电信标准,为此无线系统越来越需要更小尺寸、更低成本以及更高性能的电路,在这种复杂的......
微转移印刷技术在构建柔性电子和器件小型化等方面具有重要应用。借助微转移印刷技术,不同微部件之间的精确组装可以构造出复合微......
滤波器用于保留特定频段内的信号,将带外干扰和噪声滤除,是射频前端的重要器件,也是移动通信系统的重要组成部分。随着移动通信系......
通过将一定频率的声波耦合到微尺度流体系统中形成的声流体技术,利用声波产生的声辐射力或流体力在微纳尺度下对液体、粒子和细胞......
薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)是一种微型化、频率高、成本低、可集成的压电器件,在新一代无线通信系统已......
微质量检测领域的快速发展对传感器件的灵敏度提出更高的要求。薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR)因为具有高......
无线终端的多功能化对频率器件提出了微型化、低功耗、高性能等要求。传统射频频率器件的解决方案主要是微波介质陶瓷和声表面波(S......
微型化是目前电子通讯行业最重要的发展趋势之一，是推动微波射频器件研究和进步的主要动力。薄膜体声波谐振器(ThinFilm Bulk Acous......
薄膜体声波谐振器(FBAR)由于工作频率高、插入损耗小、功率容量大、体积小、能与CMOS工艺兼容等特点,满足了现代通信系统的要求,被......
薄膜体声波生化传感器具有速度快、非标记、易集成和灵敏度高等优点,在生化检测、临床医学检验、环境监测、食品安全检验等领域具......
薄膜体声波谐振器(FBAR)技术在无线通信射频（RF）前端滤波器应用中发挥着重要的作用，随着移动终端设备的尺寸不断缩小、功能更加复杂以......
近年来,微机电制造技术的发展使得薄膜体声波谐振器(FBAR)获得了广泛的商业应用。一方面,FBAR在移动通信领域扮演着重要角色,由于F......
在薄膜体声波谐振器(FBAR)器件的设计和优化中,Mason模型和BVD模型已经被广泛应用,但这两种方法在分析复杂结构的FBAR时却无能为力......
薄膜体声波谐振器(FBAR)的谐振频率会受到外界环境温度的影响而产生漂移,对于FBAR滤波器而言,这种温度-频率漂移特性会导致其中心......
薄膜体声波谐振器(FBAR)力传感器作为一种新型的谐振式传感器,力敏特性是其设计原理.以FBAR微加速度计为例研究了工作在纵波模式,......
运用传输线路法推导了薄膜体声波谐振器（Thin Film Bulk Acoustic Resonator,FBAR）的输入阻抗公式.利用输入阻抗公式,研究了不同材料......
建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支......
研究了由硅微质量块-悬臂梁惯性力敏结构和氮化铝（AlN）薄膜体声波谐振器（FBAR）检测元件集成的FBAR 微加速度计表头的惯性力敏特性.采用......
薄膜体声波谐振器(FBAR)是一种薄膜体声波谐振微机电系统(MEMS)器件,其与振荡电路相结合,可以将大气环境中的湿度、气压等信息转化......
采用直流磁控反应溅射，在Pt电极上沉积了A1N压电薄膜，并制备了以SiO2为声反射层的体声波谐振器。用X-射线衍射（XRD）、电镜扫描（SEM）、原......
固体装配型薄膜体声波谐振器（FBAR）机械强度好,尺寸小,可在硅片上三维立体集成,灵敏度大,在未来的通信设备制作高带通滤波器和物联网......
随着5G通信技术的发展,射频前端器件趋向于集成化、微型化,使得薄膜体声波谐振器(FBAR)技术成为通信领域的研究热点之一。该文对FB......
提出了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振（Thin film bulk acoustic resonator，FBAR）质量传感器。薄膜体声波谐振器谐振频率非......
在复合单压电层薄膜体声波谐振器（FBAR）的基础上,提出了一种新型的复合双压电层FBAR,它可以大大提高压电材料选择的灵活性。通过建模......
介绍了一种针对于生物传感应用的薄膜体声波谐振(thin film bulk acoustic resonator,FBAR)质量传感器.薄膜体声波谐振器谐振频率......
薄膜体声波谐振器（FBAR）不仅能作为手机射频前端的滤波器,还具有充当传感器表头的潜力。为实现对体声波（BAW）传感器输出射频信号的检测......
研究了初应力对压电薄膜体声波谐振器(FBAR)厚度拉伸模态谐振特性的影响.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR......
薄膜体声波滤波器作为一种发展高频滤波器的全新解决方案，比声表面波滤波器（SAWF）、陶瓷介质滤波器具有更高的Q值，低的损耗和在高频时......
薄膜体声波谐振器（FBAR）的谐振频率会受外界环境温度的影响而产生漂移，对于FBAR滤波器而言，这种温度-频率漂移特性会导致其中心频率、......
FBAR（Film Bulk Acoustic Resonator）薄膜体声波谐振器作为谐振器领域的重要分支，比声表面波滤波器（SAWF）、陶瓷介质滤波器具有更高的Q......
近期，东南大学射频与光电集成电路研究所（射光所）王志功教授团队的王科平副研究员在集成电路与微机电系统（MEMS）协同设计方面取得重要进......
验证明薄膜体声波谐振器（FBAR）用于检测伽马辐照是可行的,但未对敏感机理进行深入研究。针对这一问题,根据两种不同的FBAR结构,提出......
在薄膜体声波谐振器（FBAR）振荡器中，振荡器的有载品质因数（Qz。）和FBAR的品质因数（Q值）均与振荡器的频率稳定度有关。为了研究这两种品质......
以微加工技术制作的薄膜体声波谐振器以及由它连接组成的滤波器为重点,介绍了其工作原理、结构模型以及相关参数,提出了一种薄膜体......
该研究制备的多孔金电极敏感加强型AlN基薄膜体声波传感器谐振频率为1.21458GHz,利用Hg^2+核酸适配体修饰金电极,形成Hg^2+生物敏......
本文研制了一种基于磁控溅射掺镁氧化锌（MgxZn1-xO）压电薄膜的S波段固体装配型体声波谐振器（SMR-FBAR）。相比传统的氧化锌（Zn-O）薄膜,Mgx......
针对微机电系统等微纳米尺度器件的振幅测量,基于外差干涉原理设计开发一种微振动模态测试系统,由光路和解析电路两部分构成,在光......
以AlN薄膜为压电层,采用体硅微细加工工艺制备了背空腔型结构薄膜体声波谐振器.材料测试结果表明,在优化溅射工艺下沉积的AlN薄膜......
随着可穿戴电子设备和先进生物传感器的兴起,具有体积小、重量轻、可弯曲、可拉伸等特点的柔性电子器件和系统得到了更加广泛的关......
薄膜体声波（Bulk Acoustic Wave,BAW）滤波器凭借体积小、高频率和可集成的优势已经应用于4G等通信技术中,随着5G通信技术的发展,通信......
移动设备终端不断朝着体积尺寸小型化,功能多样化,射频功率不断提高的方向发展。微质量传感器也要求尺寸不断变小,功能不断集成,灵......
随着薄膜体声波谐振器(FBAR)技术的发展,FBAR传感器的应用也越来越广泛,如微质量传感器、微加速度计、压力传感器、温度传感器、生......
研究了含初应力压电薄膜体声波谐振器（FBAR）厚度剪切振动的谐振特性.利用含初应力压电材料的压电弹性基本方程,推导出理想FBAR在正弦......
由于体声波传感器具有灵敏度高,准数字量输出,便于集成和工作频率高等特点,使其近几年迅速发展,且因为体声波传感器具有工作频率高......
为了能有效解决柔性基底体声波谐振器热稳定性不足及功率容量不足等问题,该文提出了一种新型的基于柔性基底的薄膜体声波谐振器。......
