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复合AlN成核层相关论文
基于Al预淀积与复合AlN成核层技术的高性能AlGaN/GaN异质结及其SBD器件研究
氮化镓(Gallium Nitride:GaN)具有禁带宽度大、击穿电场高、热导率高、电子饱和速率高等优越性能,还能与氮化铝(Aluminum Nitride:AlN......
学位
AlGaN/GaN异质结
Al预淀积
磁控溅射AlN模板
复合AlN成核层
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湮灭机制
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