多层缓冲原子腔相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

多层缓冲原子腔相关论文

硅/玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性

芯片级原子钟原子腔体积小、采用MEMS硅-玻璃键合工艺制造，其气密性是决定原子钟寿命的关键因素。而其制造关键工艺阳极键合技术具......

学位

芯片级原子钟激光键合气密性能多层缓冲原子腔传热解析模型数值仿真

芯片级原子钟的气密性能分析

基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的......

期刊

芯片级原子钟多层缓冲原子腔气密性毛细管等效气流模型 Matlab仿真

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