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多晶GaN相关论文
Si(111)衬底上非晶态GaN薄膜的晶化过程
采用磁控溅射法在Si(111)衬底上直接淀积GaN薄膜。通过X射线衍射谱(XRD)、X光电子能谱(XPS)和扫描电子显微镜(SEM)研究GaN薄膜由非......
期刊
非晶GaN薄膜
多晶GaN薄膜
Si衬底
氨气气氛
磁控溅射法
多晶GaN薄膜的制备与特性研究
本文通过MOCVD方法制备了多晶GaN薄膜,并且得出了我们MOCVD系统生长多晶GaN薄膜的优化生长条件,较系统地分析了不同生长条件与退火......
学位
多晶GaN
MOCVD
载流子浓度
迁移率
光致发光
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