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多集束型装备相关论文

多集束型装备调度的k晶圆周期序列问题

为解决机械手活动序列和产能分析这一半导体制造业多集束型装备调度的关键问题,研究了一类通用的多集束型装备机械手调度中的k晶圆......

期刊

半导体制造多集束型装备双臂机械手缓冲加工模块并行机调度 semiconductor manufacturing multiple-cluster t

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