大气压DBD相关论文
在大气压下,以甲烷为单体,氩气为工作气体,利用DBD等离子枪沉积类金刚石薄膜(DLC).考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及......
大气下，采用DBD等离子体枪为等离子体聚合装置，以甲烷为单体，氩气为工作气体，在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜（DLC）。考察了基片预......
在大气压下，利用工作在16kHz的介质阻挡放电（DBD）等离子枪，以氩气为工作气体，分别用四甲基硅氧烷（TEOS）、六甲基硅氧烷（HMDSO）和八甲基环四......
