通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究,运用有限元模拟进行模态分析.通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算,为类似研究探讨......

考察了３种不同性能的压电陶瓷材料，即偏硬性的铌镁－铌锰－锆钛酸铅（ＰＭＭＮ－ＰＺＴ）、软性的铌镁-铌镍-锆钛酸铅（ＰＭＮ－ＰＮＮ－ＰＺＴ）和性能介于二者之间的经ＭｎＯ２添加改性的ＰＭＮ－ＰＮＮ－ＰＺＴ对压电......