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通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究,运用有限元模拟进行模态分析.通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算,为类似研究探讨提供一种行之有用的方法.
柱状薄膜型压电微电机的有限元模拟
【摘 要】
：
通过对柱状薄膜型压电微电机致动机理的研究,运用有限元模拟进行模态分析.通过对定子固有频率以及机构尺寸的计算,为类似研究探讨提供一种行之有用的方法.
【机 构】
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华中科技大学
【出 处】
：
微特电机
【发表日期】
：
2004年1期
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