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密封空气型薄膜体声波谐振器(FBAR)相关论文
密封空气型FBAR温度传感器
薄膜体声波谐振器(FBAR)是性能优良的压电换能器。通过在体硅刻蚀型FBAR背面密封空气的方法制作了密封空气型FBAR,研究了密封空气型F......
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薄膜体声波谐振器
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