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高氢稀释制备微晶硅薄膜微结构的研究
采用高氢稀硅烷热丝化学气相沉积方法制备氢化微晶硅薄膜。其结构特征用Raman谱,红外透射谱,小角X射线散射等来表征。结果表明微晶硅......
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氢化
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微晶硅薄膜
微结构
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