干涉光刻技术相关论文
在微细加工和集成电路(IC)制造当中,光学光刻技术是毋庸置疑的主流技术。现在的IC集成度越来越高,这就对光刻分辨力有了更好的要求......
干涉光刻技术是目前制备纳米图形的重要方法之一,其无需掩膜,且能够产生大面积的图形,优势在于成本低廉、操作简单、快速形成图案......
