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平面底栅型真空场发射三极管
真空场发射三极管(VFET)是一种真空微电子器件,采用纳米缝隙真空沟道实现电子的传输,兼具真空管和半导体晶体管的优点。本文介绍了国......
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真空场发射三极管
平面底栅结构
电子发射特性
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