弓型支撑梁相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

弓型支撑梁相关论文

弓型梁静电硅微谐振器建模与实验

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期刊

微谐振器弓型支撑梁谐振频率 electrostatic micro-resonator meander suspension resonance fre

横向梳状硅微静电谐振器机械性能分析与实验研究

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学位

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