微谐振器相关论文
随着物联网在半导体中的日益普及,MEMS器件的市场份额与日俱增。但是,其同时存在诸多问题需要解决。在加工过程中,由于尺寸微小和......
微谐振器在微机电机械系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）中是相当重要的组成部分,担任着传感器的角色,主要功能就是进行机......
微谐振器是MEMS器件类型之一,常用于生物医学、航空宇航、通讯信息等领域。品质因数（Quality factor）是评价微谐振器性能的关键参数,......
在利用耦合模理论(CMT)研究了谐振器与波导之间耦合工作特性的基础上,在二维正方格子光子晶体中设计了两种对称的带有5×5微谐振器......
微谐振器是微机电系统(MEMS)中一种典型的非线性动力学器件,它具有功耗小、灵敏度高、动态响应快、驱动效率高等优点,受到国内外学......
随着MEMS谐振器应用的日益广泛，业界对于该器件的设计制造也提出了更高的要求。由于谐振器的尺寸较小，在工作时会受到比较大的气体阻......
横向振动硅微谐振器被广泛应用在MEMS器件中，例如微传感器、微陀螺仪、微滤波器等。微谐振器的动力学特性与其性能的提高密切相关。......
微谐振器件是微机电（MEMS）领域应用最广泛的器件之一，也是研究最多的器件。结构从最初的微梁发展到最近的微盘和微体，谐振频率不断被提......
近年来，集成慢光器件的研究在国内外引起广泛兴趣。表面等离子体器件能实现亚波长局域化，可极大地提高光子系统的集成度，成为了慢光技......
自2004年诞生以来,石墨烯以其优异的性质激发了人们的强烈的兴趣。石墨烯是用来制作纳米器件的理想材料,近些年关于石墨烯在纳米器......
在过去的几年中,超材料已经从可调控独特电磁特性的范例迅速发展到制造功能器件的基础材料。超材料电磁器件的重要应用之一是超材......
为了高精度、高速测量微谐振器谐振频率的变化,利用锁相环精确选频跟踪的特性,研制了以MAX038集成芯片为核心的闭环自激与检测电路......
以一类典型的静电驱动双边电容型微谐振器为研究对象,基于全局分岔理论,研究微结构吸合不稳定的机理;在此基础上,在系统直流偏置电......
针对横向振动MEMS微谐振器，计入非线性空气阻尼力，对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型，计入滑移边界......
微谐振器是试飞测试系统的重要组成部件,微谐振器的性能影响到试飞测试系统的精确度。为了提高微谐振器的性能,在传统结构的基础上......
振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达1065以上，常压下，受空气阻尼影响，品质因子跌落到10^2左右甚至更小，为......
介绍了MEMS器件中微谐振器的简单综合方法：在给出一要求的频率值和明确设计变量与设计约束的条件下，提出一组规范尺寸，并用一种有效面......
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元，但其工作在静电场中的部分构件，因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器......
谐振频率的大小是设计微谐振器时必须考虑的重要参变量,采用ANSYS有限元仿真软件分析不同结构尺寸下的微谐振器的谐振频率和模态,......
根据梁的小变形理论和位移叠加原理,建立了弓型梁微谐振器的横向振动模型,得到了弓型复杂梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析......
针对微梳齿谐振器频率偏移的问题,提出了一种用于微谐振器频率调节的曲线形状静电梳齿结构。通过对梳齿简单模型的静电力分析,得出......
硅微谐振式传感器具有灵敏度和分辨率高、准数字信号输出、抗干扰能力强的优点,在精确测量领域具有独特的优势。其中,电热激励/压......
微机电系统（MEMS）测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈，其中一个重要方面就是MEMS器件运动特性的高速可视化。......
在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用。因此,集总参数的获取至关重要。传统的......
相比于整数阶微谐振器,分数阶微谐振器能更准确模拟微谐振器系统。利用分数阶微分及其理论,提出分数阶微谐振器系统模型,并通过预......
针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题,采用了多重网格方法进行求解,与传统方法相比,应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速......
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视......
通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中，得到水平方向最大静位移和谐振......
在一维动力学模型的基础上,对横向振动微谐振器的振动性能进行了研究,并对计入空气阻尼和未计入空气阻尼两种情况进行了比较,在对......
随着微电子机械系统（MEMS）研究的深入和产业化的需求，检测技术在MEMS中的重要性越来越大。基于机器微视觉原理组建MEMS动态测试系统，在......
介绍了一种基于计算机控制的频闪干涉测试系统,用于测量可动微机电系统(MEMS)器件的离面运动,实现了nm级分辨力。系统采用五步相移......
本文以硅微机械技术为基础研究了微谐振器和集成光学传感器。讨论了不同激励与检测方式下的谐振器的理论、工艺及其性能。并研究了......
为研究微谐振器在MEMS引信中的振动现象,建立系统固有频率和振型的方程。通过有限元仿真软件ANSYS对微谐振器进行模态仿真分析,包......
利用大型通用有限元仿真软件ANSYS7.0,对之字型微谐振器的简化力学模型进行静态和模态分析,得到水平方向的最大位移和谐振频率等重......
MEMS系统技术是21世纪发展的具有革命性的高新技术,在航空航天、精密仪器、生物技术、人工智能等领域有着广泛的应用,是国家中长期......
采用原位水热合成法,分别采用四丙基氢氧化铵（TPAOH）和正丁胺（NBA）为模板剂,在光纤微谐振器表面成功制备出MFI沸石分子筛膜.用X射线衍......
英国光纤实验室的研究人员通过对普通光纤的直径在纳米尺度上进行微调．让光纤成为了制造光子计算机必需的微谐振器．为研制出光子计算......
英国光纤实验室的研究人员通过对普通光纤的直径在纳米尺度上进行微调,让光纤成为了制造光子计算机必需的微谐振器,为研制出光子计......
随着社会的飞速发展以及生活水平的不断提高,人们对微机电系统(MEMS)器件的需求越来越大。相比于传统机电系统,MEMS器件具有体积小......
随着微器件的商业化,非常态工作环境成了影响器件高精度与可靠性获得的重要因素。作为这些微结构的核心元件,微谐振器在非常态环境......
为研究环境温度对微谐振器固有频率和品质因子的影响,采用有限元分析的方法研究了温度对单根微梁和微谐振器固有频率的影响,发现温......
以一类静电驱动双侧平行板电容型微谐振器为研究对象,基于分岔理论研究微结构的复杂动力学行为的机制。通过分析微结构动力系统的......
因低噪声、高性能、无磨损的优势,半球陀螺已成为航空、航天领域内的最佳导航陀螺。半球陀螺的微型化是微机电陀螺领域的研究热点,......
硅基集成电路在电子工业发展中占据着主导地位,在各个领域得到了大量的应用。随着高性能计算和高速互连的发展,铜线逐渐无法满足高......
