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弧离子镀颗粒抑制行为相关论文

阴极弧离子镀颗粒抑制行为及其膜性能的研究

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TiN薄膜 TiN薄膜表面形貌表面形貌薄膜厚度薄膜厚度弹性模量弹性模量薄膜相结构薄膜相结构弧离子镀弧离子镀颗粒抑制行为颗粒抑制行为

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