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表面形貌薄膜厚度相关论文

阴极弧离子镀颗粒抑制行为及其膜性能的研究

用国产AIP-01型多弧离子镀膜机，通过改变脉冲偏压的占空比和在靶前加不锈钢圈和磁铁，在高速钢、硅片以及硬质合金基体上沉积了TiN薄......

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TiN薄膜 TiN薄膜表面形貌表面形貌薄膜厚度薄膜厚度弹性模量弹性模量薄膜相结构薄膜相结构弧离子镀弧离子镀颗粒抑制行为颗粒抑制行为

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