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碲镉汞双色微台面芯片的成形技术
双色碲镉汞(HgCdTe)红外探测器是第三代红外探测器的重要发展方向之一。纵向叠层的双色红外探测器需要高深宽比的台面实现像元的电......
学位
碲镉汞
微台面芯片
干法刻蚀
中波/长波双色红外焦平面
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