微小量程相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

微小量程相关论文

联动薄膜压力敏感芯片过载特性研究

压力传感器是MEMS传感器的重要研究方向之一,电容式压力传感器具有尺寸小、结构简单、温度漂移小、灵敏度高等优点,在航空航天、工......

学位

压力传感器微小量程过载能力输出特性 SOI技术

微小量程联动薄膜压力敏感芯片仿真分析

为顺应MEMS技术发展趋势、满足微小压力测量需求,基于SOI技术设计一种联动薄膜压力敏感结构。通过有限元软件COMSOL Multiphysics......

期刊

微机电系统压力敏感结构微小量程联动薄膜 SOI技术非线性

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