微机电系统相关论文
针对MEMS器件和光电器件的薄膜结构在高温下产生的应力与应变会严重影响器件结构与功能的问题,本文采用Suhir异质生长薄膜热应力计......
首先简要分析了全球、国内和省内智能传感器产业发展的现状，指出山东省智能传感器产业发展面临的不足；其次随后从指导思想和发展目标......
为提升微机电系统（MEMS）器件的性能及可靠性，MEMS圆片级封装技术已成为突破MEMS器件实用化瓶颈的关键，其中基于晶圆键合的MEMS圆片级封......
为改善微机电系统（MEMS）传感器在塑封过程中产生的金线偏移封装缺陷，对MEMS微波功率传感器模塑封工艺参数进行优化设计。通过正交试验......
太赫兹技术在成像、天文观测、生物医学和宽带无线通信等领域都有重要的应用价值,是能够对社会和经济发展产生重大影响的前沿技术,......
本文介绍了微机电系统（MEMS）压力传感器及其专用集成电路（ASIC）信号调理电路的校准和烧录系统设计，提出一种新型的自适应通讯设备，在接口......
由于基于光纤法布里-珀罗腔的传感器具有抗电磁干扰、易于小型化、灵敏度高、耐高温、成本低等优点,因此被广泛应用于航空航天、大......
谐振频率范围内的声波对微机电系统传感器的共振干扰是一种潜在的安全威胁,可导致MEMS加速度计信号路径中放大器失效。文章提出了......
利用微机电系统（MEMS）工艺，设计并制造了一种基于法拉第电磁感应定律的单片集成MEMS三轴磁场传感器。将两种不同结构的器件通过MEMS工......
近年来,物联网（IOT）的出现使得基于位置的服务（LBS）渗透到社会活动的方方面面,人们对室内定位的需求越来越大。目前室内定位方法主要有......
快速反射镜（Fast Steering Mirror, FSM）具有响应快、精度高、分辨率高等优势，被广泛应用于卫星激光通信、激光武器、自适应光学成像......
随着硅基MEMS工艺技术与应用水平的不断提高,MEMS的结构从二维结构发展到三维结构,高深宽比微沟槽结构因其具有狭窄而垂直的空气间......
该文提出一种基于锆钛酸铅（PZT）的低电压驱动微机电系统（MEMS）电场传感器。该传感器基于电荷感应原理，其敏感单元由固定电极和可动电极......
针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题，设计了一种膜—岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器。使用......
基于有限元仿真研究了方环和圆环形谐振器的静态位移点,并分析了支撑轴位置对谐振器性能的影响,提出了优化设计方案:对于方环形谐......
微型气相色谱仪可对复杂气体组分进行现场、实时、快速地定性和定量分析.微型气相色谱柱芯片作为微型气相色谱仪的核心部件之一,决......
随着微创手术的发展与进步,内窥镜以其创口小、术后恢复快等优点在医学辅助诊断中起着越来越重要的作用。医学内窥镜常在手术应用......
柔性电子在机械柔性、重量和尺寸等方面都优于传统的刚性电子,得到学术及产业界的广泛关注。压电谐振器是电子领域必不可少的器件......
声表面波（Surface Acoustic Wave,SAW）传感器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的MEMS器件。传统Si基MEMS应变传感器无法......
为了对多机协同定位算法进行研究,使用采集到的某款较高精度的MEMS惯组的噪声数据替代仿真噪声数据,模拟采用MEMS/GNSS组合导航算......
阐述在软件定义的基础上,微纳卫星综合电子设计与实现,包括微纳卫星特点、综合电子设计要点、应用与实现,从而解决卫星任务模式、......
电容式微机械超声换能器相较于传统的压电式超声换能器具有宽频带、高密度阵元集成制造、微型化等优势,在医学成像、无损检测,水下......
微机电系统（MEMS）技术在展现出巨大潜在应用前景的同时也给人们提出了一系列的挑战。首先,由于微纳尺度材料极小的物理尺寸,传统的制......
毫米波技术在通讯、成像系统、射频天文以及临床医学等领域占据有利地位,毫米波技术的发展对行波管提出大功率、高增益、小型化的......
随着当代信息网络技术的飞速发展,人们对高速信息处理、高速信息传输能力、传输容量等方面的需求标准也在不断地提升。可调谐垂直......
微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems)简称MEMS,也被叫做微机械、微系统.电子机械系统,具有高响度速度、大行程、高精准......
为实现微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)加速度计在应用过程中的实时补偿校准,以保证应用需求的高精度输出,本研......
射频(RadioFrequency)微机电系统(Micro-electromechanicalSystems,RFMEMS)技术作为一种集微电子、化学、机械、物理、材料等其他......
在微机电系统技术的基础上, 采用两层多晶硅表面微加工工艺, 研制了一种新型的微型可编程光栅, 利用静电驱动方式实现对光栅闪耀角......
由于测控成本和有效载荷的限制, 一般采用微机电系统(MEMS)惯性传感器来测量小型无人机的飞行姿态。在MC9S12XS128单片机上通过嵌......
激光自混合干涉测量系统具有结构简单、紧凑、易准直、造价低廉等优点, 能够取代传统干涉仪用于位移、距离、速度、振动等物理量的......
研究了微机电系统(MEMS)微构件的谐振频率等动态特性在低温环境下的变化规律，从理论上分析了改变环境温度对微悬臂梁谐振频率的影响......
针对半实物仿真系统的需求，基于系统级封装技术提出了一款由垂直腔面发射激光器（VCSEL）激光器阵列、激光器驱动芯片、电源芯片等组成......
基于微机电系统(MEMS)技术微加工工艺，提出了一种新型分立倾斜式变形镜(DM)设计，并加工制作了3×4变形镜阵列。该结构每个镜面单元对......
分析了激光成像雷达系统中的微机电系统(MEMS)振镜的振动特性，对影响MEMS振动角度的关键因素：频率和驱动电压对振动角度的影响进行了......
作为一项重要的光学性能, 微型可编程光栅的最大闪耀角决定了其可用光谱波段。提出了两种微型可编程光栅最大闪耀角的实验测量方法......
由传感器技术、微机电系统和网络技术三大技术融合而成的无线传感器网络采用全新的信息获取和处理技术，可广泛用于军事安全、环境监......
微机电系统（Micro Electro-Mechanical Systems，MEMS）需要其驱动器具有大行程、高精度、高响应速度等特点。由于直线电机无需利用传动......
微光机电系统（Micro-Opto-Electromechanical System,MOEMS）是微机电系统的一个重要分支，是指由微光学和微电子技术交叉而成的一种新......
基于微机电系统(MEMS)技术的声振传感器,设计了一种采集心脏低频振动信号的电子听诊器。所设计的MEMS硅麦克风,在传感器振膜结构上......
芯片级原子钟是一种小型、低功耗、高精度的时间频率设备,与微惯性测量组合和卫星导航技术相结合,形成微型导航定位授时单元,可广......
1 引言请想像这样的景像，用微小的机器干各种活。有的使汽车运行更加平稳安全，免除交通事故中千万人遇难。有的则以每秒数拍（1015比......
奥地利EVG集团在3月17～19日举行的“SEMICON中国2004”博览会上介绍了该公司最新一代EVG~(?)150全自动圆片喷雾涂胶系统。该改进后......
