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面向微机械操作的虚拟环境
该文描述了一个面向微机械操作的虚拟环境(VEMM),它包括微机械的设计、组装、运行等几个环节。它的设计结果可直接用于微电子工艺制作过程......
会议
微机械操作
虚拟环境
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运行过程
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