微电子工艺相关论文
为支撑微电子工艺实验课程建设，采用Silvaco TCAD半导体工艺及器件仿真软件，加强学生对微电子工艺中氧化、掺杂、离子注入、光刻等工......
介绍了一种二元光学光束分束器，这种分束器可使分出的两光束强度比连续可调，文中给出了理论和实验结果。
A binary optical beam sp......
研究产生和变换任意波面的新型光学技术与器件，是现代国防与科技发展的需要在航天预测，核聚变，激光加工及光信息处理等领域中，提出了许......
目前,硅基光电集成所需的各个光子学单元已经取得了巨大的突破,并且与现有的微电子工艺完全兼容:硅基光波导在
At present, each ......
基于碳纳米管的场效应晶体管技术源于1998年,在随后的近10年间p型(空穴型)场效应晶体管的制备技术日趋完善,其性能全面超过相对应......
对ＧｅｘＳｉ１－ｘ／Ｓｉ应变超晶格雪崩光电探测器进行了分析与优化设计，优化结构为：ｉ－Ｓｉ雪崩区厚是１．８～２μｍ；ｐ－Ｓｉ区的掺杂浓度是１０＾１８ｃｍ＾－３厚为１７ｎｍ超晶格总厚为３４０ｎｍ，它可探测１．３～１．６μｍ的红外光。......
摘 要： 微电子工艺原理是微电子技术专业的一门核心课程。该课程具有知识面宽、理论与实践并重、应用性强的特点，采用传统教学模式不......
虚拟微电子工艺过程研究包括两部分内容:一方面,力图通过深入分析每一单步工艺过程的特点,建立起典型微电子工艺参数与所生成部件......
无线高温声表面波传感器不但具有一般SAW器件的体积小、品质因数高、重量轻、功耗小等优点,而且还能在高温、高压等恶劣环境实现无......
声表面波（Surface acoustic wave,SAW）器件因为其具有体积小、品质因数高、响应快、成本低、可以无线无源工作等优点,因此非常适合高......
化学敏感场效应管是利用化学极化场效应来控制固体材料导电性能的有源器件。具有体积小、灵敏度高等特点,将来可望在分子识别、痕......
柔性多维力传感器阵列可以广泛应用于机器人、航空航天、科研以及其它特殊应用领域.如将其安装在机器人的操作手上,可以感知被抓取......
描述了用微电子工艺技术成功研制硅多条探测器的制备工艺技术及测试结果。这种探测器的灵敏面积为50mm×20mm。P掺杂面被等分成相......
研制了双面硅条探测器。探测器灵敏面积为48mm×48mm,厚约300μm,结面和欧姆面的硅条互相垂直,均由相互平行、宽度相等的48条组成,......
描述了用微电子工艺技术成功研制硅多条探测器的制备工艺技术及测试结果.这种探测器的灵敏面积为50mm×20mm.P掺杂面被等分成相互......
引言 在电子行业，集成电路的应用非常广泛，每年都有许许多多通用或专用的集成电路被研发与生产出来，本文将对集成电路的应用以及发......
针对微电子工艺涉及知识面广、延续性强、理论与实践结合紧密的特点,提出连贯式阶段性课程教学的教学模式.微电子工程实践与生产实......
针对应用型本科院校的办学特色,以微电子学专业核心课程＂微电子工艺基础＂课程的教学,从教学内容选取、教学方式与教学手段和实践能力......
基因芯片是运用微电子加工技术以及基因分子的自组装技术在微小芯片上组装成千上万个不同的DNA微阵列，实现以基因为主的生命信息的......
对工艺过程进行评估的目的在于找出存在可靠性缺陷的地方,它是针对技术磨损的机理,通过对专门设计的测试结构进行封装级或圆片级可......
本文对基于封装工艺集成电机变频调速系统对小型电动机变频调速系统展开论述，分别针对调速系统中存在的问题展开讨论，寻求解决办法，希......
随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程.自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和......
给出了硅微加速度计基于虚拟现实技术的实现步骤,并在基于微机实验平台上创建了其虚拟环境,通过拟实运行验证了将虚拟现实技术应用......
独立学院应用型人才培养模式在我国教育的研究还是空白。笔者根据电子科学与技术专业应用型人才培养模式要求,结合多年的教学实践,......
课程建设与改革是提高本科教学质量与人才培养的的关键,CDIO是目前高等工程教育的一种新型教育模式,本文结合CDIO人才培养理念,针......
从课堂教学与实践教学整合角度出发，针对“微电子工艺”课程的教学模式、内容、教材等提出了将课堂／实验／实习3种不同教学形式作为一......
以成果导向OBE教学理念,对电子科学与技术专业基础课微电子工艺课程开放性、交互性的理论教学和实时性的实验教学展开研究。综合利......
为改进传统的教学方式，用信息化时代的新技术、新手段来提高教学水平和教学质量，介绍微电子工艺计算机辅助教学（CAI）系统设计及开发过......
（辽宁工程技术大学电子与信息工程学院，辽宁 葫芦岛 125105） 摘要：笔者从几年的“微电子工艺”教学实践中提出了7点关于课堂教学改......
利用非平衡磁控溅射法，用一对石墨溅射靶，以N2，Ar为工作气体，在Si（1 0 0）衬底上溅射生长CNx薄膜.X光电子能谱分析表明薄膜中的C，N原子以sp......
1995年Heer首次利用阵列碳纳米管作为冷阴极材料,研究其场发射性质后,利用各种准一维纳米结构材料作为场发射的冷阴极材料成为一个......
本文主要指出了在微电子工艺技术发展日新月异的形势下,在高校微电子工艺课程的教学中引入TCAD技术进行辅助教学的必要性,探讨了在......
本文介绍了国外在微电子工艺中以激光技术进行激光退火、激光划片、激光焊接、激光微调、激光制造集成电路及其检验等应用的状况。......
1 引言微电子和集成电路技术是信息产业的核心技术,经历了中美贸易战,我国的微电子和集成电路产业感受到了前所未有的严峻形势,也......
就《微电子工艺》课程的理论与实验教学进行了探讨。结合笔者的教学实践，介绍了《微电子工艺》课程教学内容的选取、教学方式的改革......
分析表明,微电子产品在制造过程中由于污染物的影响,降低了合格率,需要进行有效的清洗。阐述微电子工艺中的湿法清洗、干法清洗技......
该发明属于微电子工艺领域和仪器仪表技术领域，特别涉及一种基于金属电极的纳米线阵列的生长方法。该发明方法步骤包括：步骤1，在多孔......
用微电子工艺制备了VO2溅射薄膜红外探测器,在296K的环境温度中测试了该探测器对8-12μm红外辐射的黑体响应率和噪声电压,结果显示......
本文作者分析了传统的微电子工艺实践教学存在的不足,构建了微电子工艺实践教学网络平台。该网络教学平台包括课程信息、研究型教......
目前软件无线电面临的一个难题是如何对高工作频带内的射频信号进行直接模/数转换.利用频域采样技术提出了一种接收信号进行处理的......
通过微电子机械技术（MEMS）在抛光的熔融石英基材表面制作了平面精度达到0.4μm的超大单片面积的全息透镜。采用了分辨率达到0.2μm的......
本文围绕电子信息类专业核心课“微电子工艺”、“微电子器件基础”以及实践课“微电子生产实习”和“微电子器件与工艺实验”等课......
本文论述微电子工艺集成电机变频调速系统对小型电动机变频调速系统集成技术,每个角度分别从问题解决方案和可行性问题进行论述,希......
