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微纳流控系统相关论文
基于牺牲层的微纳流控芯片制造技术及器件
微纳流控芯片可用于生物医学、物理学、化学等领域,其潜在的应用前景十分广阔。但是纳流控技术研究远不如微流控技术研究那么普及,......
学位
纳流道
微纳流控系统
制造工艺
牺牲层
电化学腐蚀
高压微/纳流泵
激光刻蚀
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