微麦克风和扬声器相关论文
用ANSYS软件建立了压电薄膜悬臂梁结构的有限元模型,对悬臂梁进行了结构静力分析、模态分析,计算出了悬臂梁的谐振频率和振型.对基......
本文在现有PZT铁电薄膜的制备工艺基础上,提出了集成在同一芯片上的基于PZT铁电薄膜的压电型微麦克风、扬声器的结构,并对其灵敏度......