恒温气浴相关论文
光刻机是集成电路制造的关键设备,温度等环境参数波动是影响其性能的重要因素。常用反馈控制只能控制单点温度的状态,无法直接对温......
浸没式光刻通过在投影物镜和硅片之间填充超纯水并使之形成稳定的浸没流场,从而提高光刻的分辨率。而浸没单元作为浸没式光刻的核......
以步进扫描光刻机为代表的大型超精密加工、测量装备在现代工业生产及科学研究过程中扮演着及其重要的角色。作为现代大规模集成电......
