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扇贝纹相关论文

多次热氧化削减硅通孔内壁扇贝纹

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期刊

扇贝纹硅通孔 BOSCH刻蚀技术高温热氧化三维集成

三维集成系统中硅通孔的制备工艺研究

三维集成技术被普遍认为是延续摩尔定律的主要方向之一,系统集成度的提高能大幅提升芯片性能。硅通孔是三维集成技术中的关键之一,......

学位

硅通孔制备工艺扇贝纹可靠性电镀

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