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衬底效应对LiTaO3薄膜制备的影响
用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂(LiTaO3)薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少......
期刊
LITAO3
择优晶向
溶胶凝胶
衬底效应
薄膜
LiTaO3
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