【摘 要】
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用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂（LiTaO3）薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善
【机 构】
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电子科技大学机械电子工程学院,中国民航飞行学院航空工程学院,江苏工业学院信息科学系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项（60572007）
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用溶胶凝胶法在N型硅、P型硅、石英、铂、镍衬底上制备了钽酸锂（LiTaO3）薄膜,用XRD和SEM对钽酸锂薄膜性能参数进行了表征;发现掺杂少量环氧树脂能提高钽酸锂薄膜的均匀性,改善薄膜与衬底的粘附性;研究了衬底效应与薄膜厚度的关系,薄膜厚度超过0.2μm,Ni衬底的XRD峰值强度几乎不再出现,说明衬底对薄膜初始结晶取向有重要影响;利用不同衬底上生长钽酸锂薄膜,XRD研究结果表明：N型硅、P型硅、石英衬底上只能制备多晶钽酸锂薄膜,铂衬底上制备的钽酸锂薄膜在（012）晶向有强大的择优取向性,镍衬底上制备的钽酸
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