用台阶仪、Normaski和原子力显微镜图貌分析了与HfO/SiO薄膜激光损伤密切相关的表面微结构缺陷节瘤、划痕和孔洞等缺陷的形态结构.......

研究了SiO2半波覆盖层对HfO2/SiO2高反射膜1064nm激光损伤的影响，分析薄膜的激光损伤特性及图貌得出, 对于单脉冲（1-ON-1）激光损伤，SiO......