台阶仪相关论文
介绍了以激光干涉法形成正弦调制起伏图形，结合电镀图形转移工艺获得了图形模板，采用旋转涂覆等工艺将调制图形转移至掺溴聚苯乙烯薄......
以直径为3mm,高为1mm的Cu44.25Ag14.75Zr36Ti5圆棒状块体非晶合金为研究对象,研究了Al和Si两种不同元素在Cu44.25Ag14.75Zr36Ti5块......
用台阶仪、Normaski和原子力显微镜图貌分析了与HfO/SiO薄膜激光损伤密切相关的表面微结构缺陷节瘤、划痕和孔洞等缺陷的形态结构.......
为合理设计接触式台阶测量仪,建立了它的简化数学模型,经理论计算,结果与理论值有较大误差.通过有限元分析软件、采用8节点6面体单......
本文通过原子力显微镜和台阶仪观察测试PECVD氮化硅薄膜的表面形貌及其在HF缓冲液中的被腐蚀速率,研究了用SiH4和NH3作反应气......
通过台阶仪和扫描电镜、原子力显微镜测试观察了PVD方法制作Cr薄膜的溅射速率和表面形貌,实验分析了相关工艺参数对溅射速率的影响......
在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量。提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型......
本文叙述了用椭偏仪多次入射选择最佳法测量纳米厚度非透明薄膜原理及方法，给出了由此方法测量得到的数据和用迭代法（下降法）计算得到......
用两种方法测量了几种金属薄膜的密度．介绍了应用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术结合台阶仪测厚来测量薄膜密度的测量方法，并将所得结果进行了讨论......
以传统机械扫描式台阶仪的测量原理及结构特点为基础，分析此类台阶仪影响计量性能的主要原因，提出提升台阶仪计量性能的有效方法，通过......
微压力接触式台阶仪是一种二维形貌检测仪,针对汽车金属缸垫等薄片型金属板冲压零件的表面尺寸测量研制而成。本文从工作原理出发,......
